千亿光刻赛道，张江跑出“唯一独苗”！

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在巨头垄断的尖端领域破土而出。

出品 | 张通社

文字｜郝红霞、冷国香

1984年，飞利浦内部的Natlab实验室被高层放弃。因为不看好其昂贵的技术研发方向，这个攻坚光刻技术的团队，被安置在垃圾站旁的简易工棚里，环境嘈杂，臭气熏天。


谁也没想到，从垃圾站出发的ASML，会成为鼎鼎有名的光刻巨头，最终改写了全球半导体产业的格局。


历史的轨迹，正悄然重现。


41年后，太平洋彼岸的上海，一群中国年轻人选择向同一座技术高峰——EUV光源发起冲击。他们的起点，是砸墙搭建的家庭实验室，是弥漫着机油的郊区汽车厂房。


这群年轻人，正是朗道燧岩（上海）科技有限公司（以下简称“朗道科技”）的初创团队。


成立仅一年余，这家初创公司便斩获张江高科895创业营“创业之星”，完成天使轮战略融资，累计融资数千万元，并且成为了国内百亿EUV光源赛道中备受瞩目的独苗选手。


从重庆民居到南京郊区的汽车厂房，再到上海张江的核心园区，这家年轻的公司为何能在巨头垄断的尖端领域破土而出，被市场寄予厚望？


近日，张通社独家对话朗道科技创始人王豪博士，探寻这个年轻团队敢想敢做，破局EUV光源垄断背后的故事。

放弃铁饭碗

清华校友集体创业

朗道科技的故事，是一群世俗意义上的好学生集体“越轨”的结果。


创业之前，王豪走的是一条规整且平顺的学术之路。


2015年，他从重庆大学考入清华大学电机系，开启硕博连读。其专业是当时颇为冷门的气体放电等离子，所在的清华大学等离子体实验室是国内该领域的重要研究阵地。课题组的两大方向，一是近年大热的核聚变，另一便是半导体光刻光源。


博士毕业后，他回到母校重庆大学任教。然而，三年的执教生涯让他逐渐意识到学术与产业之间的鸿沟。“学了这么多专业知识，怎样才能真正用于产业？”这颗产业化的种子，在他心中悄然埋下。


不久，一个推动他走向产业的机会降临了。


在重庆大学教学期间，王豪创办了清华校友跑团。其中一位跑友，正是国内一家重要半导体设备制造商的供应链负责人。2023年2月，王豪前往北京参观其公司。


他近乎震撼地发现：中国半导体产业链虽全，但在最核心的光刻机，尤其是EUV（极紫外）光源上，几乎是一片空白。


需要强调的是，光刻机是芯片制造的核心装备，而EUV（极紫外）光源则决定了光刻机的精细度，其重要性不言而喻。当时，全球仅有ASML能制造EUV光刻机，并对中国实施严格禁运。这一残酷事实，刺痛了王豪。他意识到，正如“用粗炭笔画不出精妙的细节”，要突破芯片制造的工艺极限，就必须攻克最精细的极紫外光源。


从北京回来后，王豪与同为清华校友的妻子刘家慧进行了一场严肃的对话。当他提出想创业攻克EUV光源时，妻子的第一反应是：“你疯了？”但王豪没有放弃，他用了大量调研数据和分析，向妻子解释这项技术的战略意义与现实可行性。最终，刘家慧从质疑转向认同，决定与他并肩同行。


事实上，投身EUV光源创业，并非一场“无根之水”的豪赌。


在全力投入之前，王豪花了近半年时间进行扎实的行业调研。他查阅全球专利，研读专业文献，几乎翻遍了ASML二十多年来数千篇EUV会议报告，将国际巨头的成长史摸了个底朝天。他发现，国外巨头有几十年、数千专家、数百专利的深厚积累，而国内的相关研究却非常有限。正是这种清醒的认知，让他更加坚定必须从最基础做起。


调研完成，夫妻二人组成了最初的清华创业小队。没有场地，他们砸通了家里的非承重墙，清空房间，搭建起最原始的实验室。没有设备，他们抵押房产，拿出全部积蓄，全网搜寻二手甚至报废的激光器、真空仪器，自己动手维修、调试。


随后，他们又说服了另外两位清华校友加入——擅长品牌与运营的李雅竹，和拥有强大调研与供应链对接能力的杨坤韵。


清华校友创业小队就此成形。为了让成员们快速建立对EUV核心技术的认知，王豪带领大家翻译了上千页的英文技术原著，进行了高强度的集中学习。


最终，第一台低功率的原型机，就在那个由客厅改造的简陋实验室里诞生了。

招募顶尖人才

构筑“技术-商业”闭环

家庭实验室的初步成功，证明了技术的可行性，但只是故事的起点。


2024年初，一位建筑业老板被团队打动，将南京溧水区一个闲置的汽车零部件厂房，以近乎免费的价格提供给他们。清华小队正式开辟了新的空间。


“旁边就是养鸡场，吃大排档就算是团建，”王豪回忆，“但这里成了我们的研发圣地，四个创始人加上最早的员工，每天从早上7点干到深夜12点。”


也是在这里，2024年8月，朗道科技正式注册成立。

朗道科技的第一版图像logo

质疑声来得断断续续。“很多人觉得我疯了。”有行业前辈直言不讳，认为中国缺乏高端制程的血统，劝他“死了这条心，老实找个班上”。但也有人鼓励他们：“在中国，总有人想做伟大的事。你只需要找到正确的人。”


朗道科技的人才招揽结果也印证了这句话。搬到南京后，他们开始不间断地寻找有理想有才能的同伴。为此，朗道科技精心设计了专业、国际化的官网与招聘系统，由创始团队亲自奔赴清华、北大、复旦等高校宣讲招揽英才……


他们用“捍卫人类智慧荣光”的愿景和扎实的技术底蕴，吸引了一位又一位鲜活的同行者。


于是，我们看到了朗道科技如今的团队——四位清华联合创始人，以及十几位来自清华、北大、南大、南加州大学、新加坡国立、帝国理工、圣彼得堡彼得大帝理工大学等知名学府的优秀人才。


顶尖人才全身心投入的成效逐步显现。目前，朗道科技已形成从基础研究到最终产品的完整闭环，王豪称其为“三菜一汤”。


在软件与仿真层面，公司自研的“等离子体工业仿真软件”，已成为其核心研发利器。该系统既能降低企业硬件研发成本，同时支持高效对技术版本进行更新换代。还能为其他半导体设备公司提供仿真软件服务。在最艰难的时刻，团队正是靠着仿真计算几十万的订单，度过了漫长的硬件研发周期。


在硬件产品方面，朗道科技已成功推出低功率EUV光源系统。该系统成功实现低功率光源稳定输出，且转化效率国内领先。此外，该光源可为EUV光刻胶研发、光学系统及掩膜检测等企业，提供低成本、便捷的极紫外光测试工具，助力产业链上下游的协同研发。

低功率LPP-EUV整机工程化效果图

为填补EUV光源供应链的核心硬件空白，公司已完成高功率C02（二氧化碳）激光器的基础研发。这是EUV光源的“发动机”，不仅可用于驱动产生EUV，也可用于航空和汽车领域板材切割与焊接。朗道科技已经与国内龙头汽车品牌进入商业化订单探讨交流阶段。

而朗道科技的终极目标，始终是研发出可应用于先进光刻的高功率LPP-EUV光源系统。王豪为此制定了清晰的“三步走”计划：第一步，尽快完成转化效率超过5%的低功率验证；第二步，用三年时间实现瞬时百瓦级别光源系统；第三步，协同供应链成长，计划两年更新出稳定的工程样机。

累计达数千万融资

建立中国的EUV生态

历史上，固步自封、不愿向前一步的公司，在后来大多落于人后。


昔日芯片巨头英特尔因固守DUV技术而在先进制程竞赛中掉队，而当时仅出动小团队的ASML，却因押注EUV赢得了未来。


在创办朗道科技的过程中，王豪深刻地意识到，中国必须向前一步，建立自己的EUV生态。“没有EUV光源，光刻技术就无法前进。即使能设计出最精密的芯片，也无法被制造出来，中国半导体将永远受制于人。”


幸而，这条产业链上越来越多的同伴参与进来。


2025年初，朗道科技参加张江高科895创业营公开路演。作为最后一位出场者，王豪掷地有声地说道：“这或许是本次路演的尾声，但我希望它是中国EUV事业的开始。”这句话瞬间点燃了现场。最终，朗道科技凭借其扎实的技术和产业愿景，一举夺魁。


这份冠军奖励，不仅为朗道科技带来了近500平方米的免费研发空间，更是一个至关重要的契机——朗道科技借此收获了数千万元天使轮融资。

图源企查查

今年10月，朗道科技在浦东新区张江高科·矽岸国际举行开业典礼，正式入驻上海集成电路设计产业园，建立了超过千平的研发实验室。现场，一束高功率激光隔空点燃木板，“魔法”在这片热土上演。


张江高科党委书记、董事长刘樱在开业典礼上表示，朗道科技的入驻是张江科学城构建“热带雨林式”创新生态的生动实践。她回忆起第一次与朗道科技团队在南京研发旧址会面的情景，坦言这个年轻的团队给了她极大的震撼，“我觉得他们是真正心中有梦，眼里有光的一群年轻人。”


这是一个生态正在形成的缩影。王豪深知，未来的关键挑战在于“供应链建设”与“认知鸿沟的消除”。他必须成为中间人，将EUV的宏大叙事，拆解成一个个具体的核心零部件需求，助力产业链企业合力攻坚。


这条道路虽然艰难，但前景广阔。根据Technavio与Infiniti Research联合发布的报告，全球EUV光刻市场正处在高速增长期，预计2023-2028年的复合年增长率将达18.9%，市场规模将从约103亿美元攀升至近246亿美元，增量空间巨大。这不仅印证了朗道科技所选赛道的前瞻性，也意味着其每一步技术突破，都可能在中国乃至全球市场激起巨大回响。


历史的轨迹，总是惊人得相似。或许未来，朗道科技在南京汽车厂的岁月，也会成为后人传颂的起点。



而随着一批批不甘落后的中国半导体人持续涌现，那个不再受制于人的明天，正渐行渐近。
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说到底低功率光源转化效率再高也就够胶片测试用，真要搞先进制程那百瓦级光源没个十年八年供应链跟不上，就像用自行车链条想拉动高铁