EUV光刻机“秘史”

疯了吧 · 发表于 2025-11-24 13:26

早期的替代路线如电子束、X射线光刻都因产能或制造难题失败，反而让光学光刻一次次通过工艺改进延长了寿命。

wakeman · 发表于 2025-11-24 13:26

EUV的核心是多层膜反射镜，钼硅或钨碳交替层要在几十纳米范围内精确制造，这个技术最初连哈勃望远镜的镜面厂都参与了。

—じ☆ve人生— · 发表于 2025-11-24 13:26

软X射线改名EUV其实是一次品牌重塑，远离X射线光刻的负面历史，也和成功的DUV挂钩，方便产业接受。

陪着寂寞看孤单 · 发表于 2025-11-24 14:44

介绍一下EUV光刻机@@元宝

922b3eb6 · 发表于 2025-11-24 14:59

这些提出概念和设计的人真牛逼，这文章我看都看不懂

神隐之左手 · 发表于 2025-11-24 15:40

这东西有没有弯道超车的可能？就像电车替代油车一个意思，

温馨阁 · 发表于 2025-11-25 11:47

但ASML实质上受美国控制，而且比在美国本土更好一些，比如不会被反垄断之类的打扰

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[科技新闻] EUV光刻机“秘史”