日本产综研构建 12 英寸先进工艺共享中试线，支持 GAA 晶体管

东苑

日本产业技术综合研究所（IT之家注：即产综研、AIST）本月初宣布，该机构成功建设了日本境内首条支持最先进工艺的 12 英寸晶圆共享中试线，支持 GAA 全环绕栅极晶体管试制。



在这一中试线平台上，日本半导体供应链上下游企业可应用测试其自研设备 / 材料，进行对尖端工艺的适用性验证，加速日本半导体产业研发进程，提升日本半导体设备与材料企业国际竞争力。

这条中试线由产综研与 TEL、SCREEN、佳能合作建设，降低了日本企业和学术界进行先进工艺开发与测试的成本，同时保障了相关的知识产权安全。

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wing6

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yzszh64

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