交易完成后,合并后公司的董事会将由11名董事组成,其中6名来自Axcelis公司,包括Low博士;4名来自Veeco公司,包括Miller博士,Miller博士还将担任董事会技术委员会主席。目前在两家公司董事会任职的Thomas St. Dennis将担任合并后公司的董事会主席。Axcelis现任董事长Jorge Titinger将继续担任合并后公司董事会成员。
2020 - 2023年,Axcelis持续深耕市场。2020年推出的Purion XE和Purion VXE Power Series用于高功率器件的铝植入,2021年推出的Purion EXE Power Series SiC和Purion H200 Power Series SiC具备高温植入能力等先进特性,GSD Ovation的推出延续了GSD系列平台的生命力。