同时,Intel 14A制程及其演进版本14A-E都将会采用第二代的RibbonFET 环绕栅极晶体管(GAA) 技术,以及全新的PowerDirect直接触点供电技术(18A是PowerVia背面供电技术),并采用High NA EUV技术进行生产。
英特尔解释称,之所以引入High NA EUV技术,是因为这样做可以提高效率,从而降低成本。如下图所示,High NA EUV一次曝光所形成的图形中的晶体管间距与常规的三次Low NA EUV曝光所形成的图形的晶体管间距相当,而且后者总共需要约40个步骤来生产该图案,显然High NA EUV技术更具效率,并可降低成本。